Diario del proceso de fabricación

El objetivo de esta parte del libro es describir de forma literal el proceso de fabricación de los microacelerómetros en la Sala Blanca del CNM, presentados en la primera parte. Se trata por tanto de un proceso particular y concreto, realizado en unas instalaciones específicas, pero que representa un ejemplo completo y detallado de una tecnología destinada a producir un microsistema específico. El proceso descrito corresponde a la transformación de un substrato de silicio en una serie de microacelerómetros, desarrollado en la Sala Blanca del CNM durante el mes de septiembre de 2004, de acuerdo con el protocolo especificado en los runes 2685-ACE y 2756-SOL. El proceso completo de fabricación de los microacelerómetros representa 17 días virtuales^[1] de utilización de sala blanca, desde la elección de las obleas hasta el corte y separación de los dados para obtener los dispositivos individualizados, que se encapsulan posteriormente. Se debe tener en cuenta además que también se utilizan obleas de vidrio, cuyo procesado, que dura 8 días virtuales, se hace simultáneamente al de las obleas de silicio.